UV光氧催化是在外部可見光的作用下發生的。光催化氧化反應以半導體和空氣為催化劑，光為能量，將有機物降解為CO2和H2O。目前，使用的反應效率高的半導體是納米TiO2光催化劑。在光催化氧化反應中，納米TiO2光催化劑在紫外光照射下產生電子-空穴對，電子-空穴對與表面吸附的水（H2O）和氧（O2）反應生成具有非常活躍的氧化波的羥基自由基（OH-）和超氧離子自由基（O2-）。在光催化氧化作用下，可將醛、苯、氨、胺、酚、氮氧化物、硫化物等各種廢惡臭氣體還原為二氧化碳（CO2）、水（H2O）等無毒無害物質。由于光催化氧化過程中沒有添加劑，因此不會產生二次污染。

       紫外線UV光氧催化廢氣處理設備，工業生產中產生的廢氣大多有毒有害。光催化設備利用光催化劑的技術優勢，處理高濃度、大風量的有害氣體，可直接氧化有害氣體，無二次污染。該設備采用高能臭氧與紫外線束相結合，能分解、裂解惡臭有機氣體分子鏈，凈化空氣，減少污染。該裝置可處理各種混合有機廢氣。UV光催化廢氣處理設備適用于：工業煙氣、汽車、家具、玩具、家用電器、自行車等涂裝廢氣、印刷廠、制鞋粘膠、各種工業VOC有機廢氣、除臭及除臭凈化處理。設備類型包括：紫外線脫臭凈化器、紫外線光解吸附脫臭凈化器、紫外線光解等離子體復合凈化器等。